MASTROMATTEO, MASSIMO
MASTROMATTEO, MASSIMO
Dipartimento di Scienze Statistiche
B diffusion and activation phenomena during post-annealing of C co-implanted ultra-shallow junctions
2006 DI MARINO, Marco; Napolitani, Enrico; Mastromatteo, Massimo; Bisognin, Gabriele; DE SALVADOR, Davide; Carnera, Alberto; Mirabella, S; Impellizzeri, G; Priolo, F; Graoui, H; Foad, Ma
Defects in Ge caused by sub-amorphizing self-implantation: Formation and dissolution
2010 Bisognin, Gabriele; S., Vangelista; Mastromatteo, Massimo; Napolitani, Enrico; DE SALVADOR, Davide; Carnera, Alberto; Berti, Marina; E., Bruno; G., Scapellato; A., Terrasi
Fluorine redistribution and incorporation during solid phase epitaxy of preamorphized Si
2010 Mastromatteo, Massimo; DE SALVADOR, Davide; Napolitani, Enrico; Panciera, F; Bisognin, Gabriele; Carnera, Alberto; Impellizzeri, G; Mirabella, S; Priolo, F.
Formation and incorporation of SiF4 molecules in F-implanted preamorphized Si
2009 DE SALVADOR, Davide; Bisognin, Gabriele; Napolitani, Enrico; Mastromatteo, Massimo; Baggio, N; Carnera, Alberto; Boscherini, F; Impellizzeri, G; Mirabella, S; Boninelli, S; Priolo, F; Cristiano, F.
Hydrogen diffusion and segregation during solid phase epitaxial regrowth of preamorphized Si
2016 Mastromatteo, Massimo; Johnson, B. C.; DE SALVADOR, Davide; Napolitani, Enrico; Mccallum, J. C.; Carnera, Alberto
Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial regrowth of amorphous Si
2012 F., Panciera; K., Hoummada; Mastromatteo, Massimo; DE SALVADOR, Davide; Napolitani, Enrico; S., Boninelli; G., Impellizzeri; F., Priolo; Carnera, Alberto; D., Mangelinck
Mechanism of B diffusion in crystalline Ge under proton irradiation
2009 Bruno, E; Mirabella, S; Scapellato, G; Impellizzeri, G; Terrasi, A; Priolo, F; Napolitani, Enrico; DE SALVADOR, Davide; Mastromatteo, Massimo; Carnera, Alberto
Modeling of phosphorus diffusion in silicon oxide and incorporation in silicon nanocrystals
2016 Mastromatteo, Massimo; DE SALVADOR, Davide; Napolitani, Enrico; Arduca, Elisa; Seguini, Gabriele; Frascaroli, Jacopo; Perego, Michele; Nicotra, Giuseppe; Spinella, Corrado; Lenardi, Cristina; Carnera, Alberto
N-type doping of Ge by As implantation and excimer laser annealing
2014 Milazzo, Ruggero; Napolitani, Enrico; G., Impellizzeri; G., Fisicaro; S., Boninelli; M., Cuscunà; DE SALVADOR, Davide; Mastromatteo, Massimo; M., Italia; A., La Magna; G., Fortunato; F., Priolo; V., Privitera; Carnera, Alberto
Oxygen behavior in germanium during melting laser thermal annealing
2015 Milazzo, Ruggero; Impellizzeri, G.; Cuscunà, M.; DE SALVADOR, Davide; Mastromatteo, Massimo; La Magna, A.; Fortunato, G.; Priolo, F.; Privitera, V.; Carnera, Alberto; Napolitani, Enrico
Quantification of phosphorus diffusion and incorporation in silicon nanocrystals embedded in silicon oxide
2014 Mastromatteo, Massimo; Arduca, E.; Napolitani, Enrico; Nicotra, G.; DE SALVADOR, Davide; Bacci, Luca; Frascaroli, J.; Seguini, G.; Scuderi, M.; Impellizzeri, G.; Spinella, C.; Perego, M.; Carnera, Alberto
Radiation enhanced diffusion of B in crystalline Ge
2010 Bruno, E; Mirabella, S; Scapellato, G; Impellizzeri, G; Terrasi, A; Priolo, F; Napolitani, Enrico; DE SALVADOR, Davide; Mastromatteo, Massimo; Carnera, Alberto
Role of ion mass on damage accumulation during ion implantation in Ge
2014 Napolitani, Enrico; E., Bruno; Bisognin, Gabriele; Mastromatteo, Massimo; DE SALVADOR, Davide; G. G., Scapellato; S., Boninelli; F., Priolo; V., Privitera; Carnera, Alberto
Role of self-interstitials on B diffusion in Ge
2012 G. G., Scapellato; E., Bruno; A. J., Smith; Napolitani, Enrico; DE SALVADOR, Davide; S., Mirabella; Mastromatteo, Massimo; Carnera, Alberto; R., Gwilliam; F., Priolo
Self-interstitials injection in crystalline Ge induced by GeO2 nanoclusters
2011 Scapellato, G. G.; Boninelli, S.; Napolitani, Enrico; Bruno, E.; Smith, A. J.; Mirabella, S.; Mastromatteo, Massimo; DE SALVADOR, Davide; Gwilliam, R.; Spinella, C.; Carnera, Alberto; Priolo, F.
Synthesis and characterization of P delta-layer in SiO2 by monolayer doping
2016 Arduca, Elisa; Mastromatteo, Massimo; DE SALVADOR, Davide; Seguini, Gabriele; Lenardi, Cristina; Napolitani, Enrico; Perego, Michele
Thermodynamic stability of high phosphorus concentration in silicon nanostructures
2015 Perego, Michele; Seguini, Gabriele; Arduca, Elisa; Frascaroli, Jacopo; DE SALVADOR, Davide; Mastromatteo, Massimo; Carnera, Alberto; Nicotra, Giuseppe; Scuderi, Mario; Spinella, Corrado; Impellizzeri, Giuliana; Lenardi, Cristina; Napolitani, Enrico
Transient enhanced diffusion of B mediated by self-interstitials in preamorphized Ge
2010 Napolitani, Enrico; Bisognin, Gabriele; Bruno, E; Mastromatteo, Massimo; Scapellato, Gg; Boninelli, S; DE SALVADOR, Davide; Mirabella, S; Spinella, C; Carnera, Alberto; Priolo, F.