Aryl Sulfonates as Initiators for Extreme Ultraviolet Lithography: Applications in Epoxy-Based Hybrid Materials

Brusatin, Giovanna;Della Giustina, Gioia;
2018
2018
CHEMPHOTOCHEM
WOS:000431975600005
2-s2.0-85059887012
01.01 - Articolo in rivista
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