Deep learning for virtual metrology: Modeling with optical emission spectroscopy data

Terzi, Matteo;Masiero, Chiara;Beghi, Alessandro;MAGGIPINTO, MARCO;Susto, Gian Antonio
2017
2017
RTSI 2017 - IEEE 3rd International Forum on Research and Technologies for Society and Industry, Conference Proceedings
3rd IEEE International Forum on Research and Technologies for Society and Industry, RTSI 2017
WOS:000426978000043
2-s2.0-85034849145
9781538639061
04.01 - Contributo in atti di convegno
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