Deep learning for virtual metrology: Modeling with optical emission spectroscopy data

Terzi, Matteo;Masiero, Chiara;Beghi, Alessandro;MAGGIPINTO, MARCO;Susto, Gian Antonio
2017

2017
RTSI 2017 - IEEE 3rd International Forum on Research and Technologies for Society and Industry, Conference Proceedings
3rd IEEE International Forum on Research and Technologies for Society and Industry, RTSI 2017
9781538639061
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