A dynamic sampling strategy based on confidence level of virtual metrology predictions

Susto, Gian Antonio
2017
2017
Proceedings of the 2017 28th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
2017 28th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
978-1-5090-5448-0
04.01 - Contributo in atti di convegno
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11577/3256302
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
  • OpenAlex ND
social impact