Chemical changes in hybrid photoresists before and after exposure by in situ NEXAFS analysis

DELLA GIUSTINA, GIOIA;BRIGO, LAURA;BRUSATIN, GIOVANNA;
2017
2017
Proc. SPIE 10146
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV
WOS:000418445100036
2-s2.0-85020630598
04.01 - Contributo in atti di convegno
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