Effects of plasma non-homogeneity on the physical properties of sputtered thin films

MAGGIONI, GIANLUIGI;PATELLI, ALESSANDRO;ANTONI, VANNI;SERIANNI, GIANLUIGI;DEPERO, LAURA ELEONORA;
2001
2001
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
WOS:000171104600158
2-s2.0-0035387372
01.01 - Articolo in rivista
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