Deep X-ray lithography for direct patterning of PECVD films

COSTACURTA, STEFANO;MALFATTI, LUCA;PATELLI, ALESSANDRO;FALCARO, PAOLO;INNOCENZI, PLINIO
2010
2010
PLASMA PROCESSES AND POLYMERS
WOS:000279494500003
2-s2.0-77954943265
01.01 - Articolo in rivista
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