High refractive index titania based spin-on sol-gel resists: optical and nanoimprint lithography
ZANCHETTA, ERIKA;DELLA GIUSTINA, GIOIA;BRUSATIN, GIOVANNA
2013
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.