Virtual metrology enabled early stage prediction for enhanced control of multi-stage fabrication processes

SUSTO, GIAN ANTONIO;
2013
2013
Proceedings of the IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE)
2013 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE)
2-s2.0-84891521136
9781479915156
04.01 - Contributo in atti di convegno
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