A method for line edge and sidewall roughness characterization

MARINELLO, FRANCESCO;SAVIO, ENRICO
2006
2006
Proceedings of the 6th International Conference European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
6th International Conference European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
2-s2.0-84908276541
9780955308208
04.01 - Contributo in atti di convegno
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